Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1012042839 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Integration piezoelektrisch aktiver Schichten auf Silizium für die Mikrosystemtechnik / vorgelegt von Stefan Schimpf |
Person(en) | Schimpf, Stefan (Verfasser) |
Ausgabe | 1. Aufl. |
Verlag | Göttingen : Sierke |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
Umfang/Format | VIII, 146 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 220 gr. |
Hochschulschrift | Zugl.: Magdeburg, Univ., Diss., 2011 |
ISBN/Einband/Preis | 978-3-86844-326-4 kart. : EUR 42.00 (DE) |
EAN | 9783868443264 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Piezoelektrischer Linearmotor ; Dickschichttechnik ; Piezoelektrischer Aktor |
DDC-Notation | 621.3 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
Frankfurt |
Signatur: 2011 A 71192
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2011 A 53376
Bereitstellung in Leipzig |
