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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Alternatives Antriebs-und Auswerteverfahren für die Mikrosystemtechnik / vorgelegt von Stephan Buschnakowski
Person(en) Buschnakowski, Stephan (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2004
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 7,6 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Buschnakowski, Stephan: Alternatives Antriebs- und Auswerteverfahren für die Mikrosystemtechnik
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2004
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200401542
URL http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2004/0154/data/diss.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2004/0154 (Verlag)
Schlagwörter Mikromanipulator ; Mikroaktor ; Elektrodynamischer Wandler ; Array ; Online-Publikation
Mikromanipulator ; Bewegungsanalyse <Technik> ; Mikrosensor ; Feldeffekttransistor ; Online-Publikation
Mikromanipulator ; Mikroaktor ; Mikrosensor ; Array ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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