Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1222187760 |
| Titel | Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern / Jörn Christian Weber |
| Person(en) | Weber, Jörn Christian (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | München : Verlag Dr. Hut |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern |
| Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Dresden, 2010 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2020112610373709559242 |
| URL | https://www.dr.hut-verlag.de/9783868534528.html (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-86853-452-8 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Anmerkungen |
Vom Verlag als Druckwerk on demand und/oder als E-Book angeboten Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Beschichten* ; Sputtern* ; Puls <Technik>* ; Magnetron* ; Betriebszustand* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 671.73 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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