Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1220507679 |
| Titel | Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung / D. Güttler |
| Person(en) | Güttler, D. (Verfasser) |
| Verlag | Dresden : Forschungszentrum Dresden - Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-61184 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Wissenschaftlich-technische Berichte ; FZD-411 |
| Schlagwörter | Kathode* ; Oberfläche* ; Messung* ; Sputtern* ; Magnetron* ; Atom* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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