Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1213812771 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Gallium-based Solid Liquid Interdiffusion Bonding of Semiconductor Substrates near room temperature / Joerg Froemel ; Gutachter: Thomas Geßner, Masayoshi Esashi ; Betreuer: Thomas Geßner |
| Person(en) |
Froemel, Joerg (Verfasser) Geßner, Thomas (Akademischer Betreuer) Geßner, Thomas (Gutachter) Esashi, Masayoshi (Gutachter) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz - Chemnitz : Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2015 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als: ISBN: 978-3-944640-57-0 |
| Hochschulschrift | Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2015 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-167981 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Wafer ; Bonden ; Halbleitersubstrat ; Diffusionslöten ; Niedrigtemperatur ; Gallium ; Dünne Schicht ; Intermetallische Verbindungen ; Galliumlegierung ; Stoffeigenschaft |
| DDC-Notation | 621.381046 [DDC22ger]; 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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