Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1203374895 |
Titel | Additive Nano-Lithography with Focused Soft X-rays: Basics, Challenges, and Opportunities / Andreas Späth |
Person(en) | Späth, Andreas (Verfasser) |
Verlag | Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2019 |
Umfang/Format | Online-Ressource |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus4-125966 DOI: 10.3390/mi10120834 |
URL | https://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/12596 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Anmerkungen |
In: Micromachines 10.12 (2019): 834. |
DDC-Notation | 530.417 [DDC23ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
