Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1363205153 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Piezoelektrische Mikrosysteme : Entwurf, Fertigung und Charakterisierung piezoelektrischer mikroelektromechanischer Wandlersysteme auf Basis von Aluminiumnitrid / Chris Stöckel |
| Person(en) | Stöckel, Chris (Verfasser) |
| Organisation(en) | Universitätsbibliothek (Chemnitz) (Verlag) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2025 |
| Umfang/Format | xxii, 232 Seiten : Illustrationen ; 21 cm, 373 g |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Stöckel, Chris: Piezoelektrische Mikrosysteme |
| Hochschulschrift | Habilitationsschrift, Technische Universität Chemnitz, 2025 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-96100-255-9 Broschur : EUR 23.90 (DE), EUR 24.60 (AT), CHF 25.90 (freier Preis) 3-96100-255-X |
| EAN | 9783961002559 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | MEMS ; Piezoelektrisches Bauelement ; Aluminiumnitrid ; Dünne Schicht ; Piezoelektrischer Wandler ; Entwurf ; Mikrofertigung |
| DDC-Notation | 621 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltstext Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2025 AA 29853 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
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