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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/131899098X
Titel Towards smart scanning probe lithography: a framework accelerating nano-fabrication process with in-situ characterization via machine learning / by Yijie Liu, Xuexuan Li, Ben Pei, Lin Ge, Zhuo Xiong, Zhen Zhang
Person(en) Liu, Yijie (Verfasser)
Li, Xuexuan (Verfasser)
Pei, Ben (Verfasser)
Ge, Lin (Verfasser)
Xiong, Zhuo (Verfasser)
Zhang, Zhen (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format 1 Online-Ressource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2024021209571817897709
DOI: 10.1038/s41378-023-00587-z
URL https://doi.org/10.1038/s41378-023-00587-z
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2023
DDC-Notation 620.5 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Microsystems & nanoengineering (Bd. 9, 10.10.2023, Nr. 1, date:12.2023: 1-14)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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