Dimensional metrology in the macroscopic range with sub-nanometre resolution

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1075941709
Titel	Dimensional metrology in the macroscopic range with sub-nanometre resolution / Tino Hausotte ; Nataliya Vorbringer-Dorozhovets ; Jing C. Shen ; Eberhard Manske ; Gerd Jäger
Person(en)	Hausotte, Tino (Mitwirkender) Vorbringer-Dorozhovets, Nataliya (Mitwirkender) Shen, Jing C. (Mitwirkender) Manske, Eberhard (Mitwirkender) Jäger, Gerd (Mitwirkender)
Verlag	Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format	Online-Ressource
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus4-50301
URL	https://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/5030 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Englisch (eng)
Anmerkungen	In: Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part B: Journal of Engineering Manufacture 227.5 (2013):S.657-661. 30.07.2014
Schlagwörter	-
Sachgruppe(n)	530 Physik

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