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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/985296860
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen / Alexander Leopold
Person(en) Leopold, Alexander (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 1,1 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Leopold, Alexander: Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 2003
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss2003012907740
URL http://mediatum2.ub.tum.de/doc/601295/document.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silicium ; Wafer ; Oberflächenreinigung ; Wasserstoffperoxid ; Komplexbildner ; Einstufenprozess
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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