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Titel Magnetron sputtering of piezoelectric AlN and AlScN thin films and their use in energy harvesting applications / by Stephan Barth, Hagen Bartzsch, Daniel Glöß, Peter Frach, Thomas Modes, Olaf Zywitzki, Gunnar Suchaneck, Gerald Gerlach
Person(en) Barth, Stephan (Verfasser)
Bartzsch, Hagen (Mitwirkender)
Glöß, Daniel (Mitwirkender)
Frach, Peter (Mitwirkender)
Modes, Thomas (Mitwirkender)
Zywitzki, Olaf (Mitwirkender)
Suchaneck, Gunnar (Mitwirkender)
Gerlach, Gerald (Mitwirkender)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Herausgebendes Organ)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-2016070728016
DOI: 10.1007/s00542-015-2787-x
URL http://dx.doi.org/10.1007/s00542-015-2787-x
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Microsystem technologies (Bd. 22, 9.1.2016, Nr. 7, date:7.2016: 1613-1617)

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