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Titel Low‐temperature atmospheric pressure plasma conversion of polydimethylsiloxane and polysilazane precursor layers to oxide thin films / Martin Rudolph, Peter Birtel, Thomas Arnold, Andrea Prager, Sergej Naumov, Ulrike Helmstedt, André Anders, Patrick C. With
Person(en) Rudolph, Martin (Verfasser)
Birtel, Peter (Verfasser)
Arnold, Thomas (Verfasser)
Prager, Andrea (Verfasser)
Naumov, Sergej (Verfasser)
Helmstedt, Ulrike (Verfasser)
Anders, André (Verfasser)
With, Patrick C. (Verfasser)
Verlag Weinheim : Wiley-VCH - Leipzig : Universitätsbibliothek Leipzig
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2025
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:15-qucosa2-995244
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Plasma Processes and Polymers. 20(5). ISSN: 1612-8850
DDC-Notation 551.46 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 550 Geowissenschaften

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