Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1019852542 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Al2O3 thin films : relation between structural evolution, mechanical properties and stability / Kaiyun Jiang |
| Person(en) | Jiang, Kaiyun (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-39319 |
| URL | http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2012/3931/pdf/3931.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Materials Chemistry Dissertation ; 14 (2011) |
| Schlagwörter | Aluminiumoxide ; PECVD-Verfahren ; Mikrostruktur ; Mechanische Eigenschaft ; Stabilität |
| DDC-Notation | 620.1404 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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