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Titel Structural Changes in Nanometer-Thick Silicon-on-Insulator Films During High-Temperature Annealing / by I. E. Tyschenko, E. V. Spesivtsev, A. A. Shklyaev, V. P. Popov
Person(en) Tyschenko, I. E (Verfasser)
Spesivtsev, E. V (Verfasser)
Shklyaev, A. A (Verfasser)
Popov, V. P (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022081021503311313890
DOI: 10.1134/S1063782622020166
URL https://doi.org/10.1134/S1063782622020166
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2022
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Semiconductors (Bd. 56, 18.5.2022, Nr. 3, date:3.2022: 223-229)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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