Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Titel Untersuchungen zur Hochrateabscheidung harter DLC-Schichten / Karola Graupner ; Gutachter: F. Richter, P. Häußler ; Betreuer: S. Peter
Person(en) Graupner, Karola (Verfasser)
Peter, S. (Akademischer Betreuer)
Richter, F. (Gutachter)
Häußler, P. (Gutachter)
Verlag Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Diplomarbeit, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200500031
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter PECVD-Verfahren ; Rasterkraftmikroskopie
Methan* ; Elektrode* ; Rasterkraftmikroskopie* ; Optische Schicht* ; Dünne Schicht* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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