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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1211828786
Titel Optimierung des XRD 3000PTS für Diffraktometrie und Reflektometrie an dünnen Schichten / Mirko Kehr ; Gutachter: Walter Hoyer, Hans-Jürgen Hinneberg ; Betreuer: Helmut Giegengack
Person(en) Kehr, Mirko (Verfasser)
Giegengack, Helmut (Akademischer Betreuer)
Hoyer, Walter (Gutachter)
Hinneberg, Hans-Jürgen (Gutachter)
Verlag Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2004
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Diplomarbeit, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200400621
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Dünne Schicht ; Reflektometrie ; Röntgendiffraktometer ; Röntgendiffraktometrie ; Streifender Einfall ; Titancarbid
Dünne Schicht* ; Reflektometrie* ; Röntgenstrahlung* ; Streifender Einfall* ; Titancarbid* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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