Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1045582298 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Negative ions and operation modes in capacitively coupled RF oxygen discharges / vorgelegt von Christian Küllig |
| Person(en) | Küllig, Christian (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
| Umfang/Format | IX, 117 S. : graph. Darst. ; 31 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Küllig, Christian: Negative Ions and Operation Modes in Capacitively Coupled RF Oxygen Discharges |
| Hochschulschrift | Greifswald, Univ., Diss., 2013 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | Enth. 6 Sonderabdr. aus verschiedenen Zeitschr. |
| DDC-Notation | 530.446 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2014 B 934 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2013 B 37207 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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