Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1211829472 |
| Titel | Untersuchungen einer gepulsten Magnetronentladung bei der Abscheidung von Oxidschichten mittels optischer Emissionsspektroskopie und elektrischer Sonden / Stefan Welzel ; Gutachter: Frank Richter, Jürgen Meichsner ; Betreuer: Frank Richter |
| Person(en) |
Welzel, Stefan (Verfasser) Richter, Frank (Akademischer Betreuer) Richter, Frank (Gutachter) Meichsner, Jürgen (Gutachter) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2004 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Diplomarbeit, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200401661 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Magnetronsputtern* ; Oxidschicht* ; Emissionsspektroskopie* ; Plasma* ; Entladung* ; Sonde* ; Elektron* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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