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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/982482965
Art des Inhalts	Hochschulschrift
Titel	Modellierung und Untersuchungen zur Esterspaltung in modernen Photoresistmaterialien / vorgelegt von Pedro Javier Rodríguez Cantó
Person(en)	Rodríguez Cantó, Pedro Javier (Verfasser)
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format	114 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Andere Ausgabe(n)	Erscheint auch als Online-Ausgabe: Rodríguez Cantó, Pedro Javier: Modellierung und Untersuchungen zur Esterspaltung in modernen Photoresistmaterialien
Hochschulschrift	Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006
Schlagwörter	Photoresist ; Tiefes Ultraviolett ; Diffusion ; Säure ; Belichtung ; Inhibitor ; Modellierung ; Simulation ; Lithographie <Halbleitertechnologie> ; Chemische Reaktion
DDC-Notation	547.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n)	540 Chemie

Frankfurt	Signatur: 2007 A 4575 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig	Signatur: 2007 A 5216 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig

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