Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
Neuigkeiten Vom 10. September 2025, 13 Uhr, bis 11. September 2025, 22 Uhr, kann es zu Einschränkungen bei der Bereitstellung von Medienwerken kommen. Wir informieren Sie per E-Mail über den aktuellen Stand Ihrer Bestellungen. // From 13:00 on 10 September 2025 until 22:00 on 11 September 2025, there may be restrictions on the provision of media works. We will inform you by email about the current status of your orders.
 
 

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Online Ressourcen
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie / Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. Michael Schulz
Person(en) Schulz, Michael (Verfasser)
Organisation(en) Forschungszentrum Karlsruhe (Herausgebendes Organ)
Verlag Karlsruhe : FZKA
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-200911172165
URL http://bibliothek.fzk.de/zb/berichte/FZKA6901.pdf (kostenfrei zugänglich)
Identifikationsnummern Reportnummer: FZKA 6901
Schlagwörter Siliciumorganische Verbindungen ; Lithografie <Halbleitertechnologie> ; Ausgangsmaterial ; Pyrolyse ; Nichtoxidkeramik ; Rapid Prototyping <Fertigung>
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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