Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1168325579 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL) / Sven Achenbach, F. J. Pantenburg, Jürgen Mohr |
| Person(en) |
Achenbach, Sven (Verfasser) Pantenburg, F. J. (Verfasser) Mohr, Jürgen (Verfasser) |
| Verlag | Karlsruhe : KIT-Bibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2000 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe (TH), 2000, Dissertation von Sven Achenbach |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA55220005 |
| URL | https://publikationen.bibliothek.kit.edu/5522000 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Mikrostruktur* ; Röntgenlithografie* ; Photoresist* (*maschinell ermittelt) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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