Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1198223901 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern / Klaus-Dieter Mueller |
| Person(en) | Mueller, Klaus-Dieter (Verfasser) |
| Verlag | Karlsruhe : KIT-Bibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1999 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), 1998 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2019102907462264516305 DOI: 10.5445/IR/3099 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6254 |
| Schlagwörter | Mikrostruktur* ; Abformung* ; Kunststoff* ; Opferschicht* (*maschinell ermittelt) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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