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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1107772052
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen / Felix Greiner. Betreuer: Helmut F. Schlaak
Person(en) Greiner, Felix (Verfasser)
Schlaak, Helmut F. (Akademischer Betreuer)
Verlag Darmstadt : Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Greiner, Felix: Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen
Hochschulschrift Dissertation, Darmstadt, Technische Universität Darmstadt, 2013
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-36406
URL http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/3640/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Institut für Elektromechanische Konstruktionen ; 30
DDC-Notation 620.5 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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