Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1107772052 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen / Felix Greiner. Betreuer: Helmut F. Schlaak |
Person(en) |
Greiner, Felix (Verfasser) Schlaak, Helmut F. (Akademischer Betreuer) |
Verlag | Darmstadt : Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
Umfang/Format | Online-Ressource |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Greiner, Felix: Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen |
Hochschulschrift | Dissertation, Darmstadt, Technische Universität Darmstadt, 2013 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-36406 |
URL | http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/3640/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Beziehungen | Institut für Elektromechanische Konstruktionen ; 30 |
DDC-Notation | 620.5 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
