Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/984537635 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik / vorgelegt von Marcus Pritschow |
| Person(en) | Pritschow, Marcus (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 7,5 MB |
| Hochschulschrift | Stuttgart, Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-30574 |
| URL |
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2007/3057/pdf/pritschow.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2007/3057/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Titannitrid ; Titan ; Magnetronsputtern ; Mikromechanik ; Mikrosystemtechnik ; Eigenspannung |
| DDC-Notation | 621 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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