Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1069049697 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators / Xin Xu |
| Person(en) | Xu, Xin (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 41 farb. Ill. (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Xu, Xin: Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators |
| Hochschulschrift | Zugl.: Technische Universität Berlin, Diss., 2011 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201503298548 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0590-5 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | MEMS ; Mikroaktor ; Elektrolinearmotor ; Mikrosensor ; Magnetfeldsensor ; Positionierung ; Messsystem ; Mikrofertigung ; Ferromagnetische Schicht ; Hysteresekurve |
| DDC-Notation | 621.3815 [DDC22ger]; 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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