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Titel Supercritical Fluid Treatment to Improve Dielectric and Mechanical Properties of Porous ULK Thin Films / by Julien Beynet, Vincent Jousseaume, Alain Madec, Bruno Rémiat, N. Dominique Albérola, Régis Mercier, Gérard Passemard
Person(en) Beynet, Julien (Verfasser)
Jousseaume, Vincent (Verfasser)
Madec, Alain (Verfasser)
Rémiat, Bruno (Verfasser)
Albérola, N. Dominique (Verfasser)
Mercier, Régis (Verfasser)
Passemard, Gérard (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021012920231604785688
DOI: 10.1557/PROC-0914-F02-08
URL https://doi.org/10.1557/PROC-0914-F02-08
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
DDC-Notation 620.11 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 914, 15.6.2006, Nr. 1, date:12.2005: 1-6)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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