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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma-CVD-Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe / von Patrick Kuhn
Person(en) Kuhn, Patrick (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 4,4 MB
Hochschulschrift Saarbrücken, Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-12529
URL http://scidok.sulb.uni-saarland.de/volltexte/2007/1252/pdf/Dissertation_Patrick_Kuhn_2007.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://scidok.sulb.uni-saarland.de/volltexte/2007/1252/ (Verlag)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter PECVD-Verfahren ; Titannitrid ; Beschichten ; Titandioxid
DDC-Notation 671.735 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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