Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Mittwoch, 19. November 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe / Patrick Kuhn ; Gutachter: Sanjay Mathur ; INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
Person(en) Kuhn, Patrick (Verfasser)
Mathur, Sanjay (Gutachter)
Organisation(en) INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien (Sonstige)
Verlag Saarbrücken : Universität des Saarlandes
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Saarbrücken, Universität des Saarlandes, 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:291:415-8189
DOI: 10.22028/D291-22392
URL https://opus.bsz-bw.de/inmdok/frontdoor/index/index/docId/818 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Dünne Schicht* ; CVD-Verfahren* ; PECVD-Verfahren* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 671.735 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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