Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1236431642 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchung der Wachstumskinetik von SiC mithilfe der in-situ Computertomographie des Gasphasenkristallisationsprozesses und der Modellierung der Wachstumsbedingungen / Matthias Arzig |
| Person(en) | Arzig, Matthias (Verfasser) |
| Organisation(en) | Shaker Verlag (Verlag) |
| Verlag | Düren : Shaker Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| Umfang/Format | 162 Seiten : Illustrationen ; 21 cm, 249 g |
| Hochschulschrift | Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2021 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8440-8135-0 Broschur : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), CHF 61.10 (freier Preis) 3-8440-8135-6 |
| EAN | 9783844081350 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Schlagwörter | Siliciumcarbid ; Kristallzüchtung ; Gasphase ; Kristallwachstum ; Prozessanalyse ; Computertomografie ; In situ ; Prozessmodell |
| DDC-Notation | 660.284298 [DDC23ger]; 621.38152 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 660 Technische Chemie ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2021 AA 45194
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2022 AA 3930
Bereitstellung in Leipzig |
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