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Titel Dynamic particle removal by nanosecond dry laser cleaning : theory / Nikita Arnold ; Gernot Schrems ; T. Mühlberger ; Micha Bertsch ; Mario Mosbacher ; Paul Leiderer ; Dieter Bäuerle
Person(en) Arnold, Nikita (Verfasser)
Schrems, Gernot (Verfasser)
Mühlberger, T. (Verfasser)
Bertsch, Micha (Verfasser)
Mosbacher, Mario (Verfasser)
Leiderer, Paul (Verfasser)
Bäuerle, Dieter (Verfasser)
Verlag Konstanz : Bibliothek der Universität Konstanz
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:352-opus-28287
URL http://kops.uni-konstanz.de/handle/123456789/4893 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Second International Symposium on Laser Precision Microfabrication / Miyamoto, Isamu; Lu, Yong Feng; Sugioka, Koji; Dubowski, Jan J. (Hrsg.). - SPIE, 2002. - (SPIE Proceedings ; 4426). - S. 340-346
In: Second International Symposium on Laser Precision Micromachining, Singapore, Singapore
Sachgruppe(n) 530 Physik

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