Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Titel Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren : Forschungsvorhaben NT 26970 d. Fraunhofer-Einrichtungen / FhG, Fraunhofer-Ges., Inst. für Produktionstechnik u. Automatisierung (IPA), Stuttgart ; Arbeitsgruppe für Integrierte Schaltungen (AIS), Erlangen. Autoren Rolf-Dieter Schraft ...
Person(en) Schraft, Rolf Dieter (Verfasser)
Organisation(en) Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Herausgebendes Organ)
Verlag Stuttgart : IPA
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1986
Umfang/Format 313, 40 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
ISBN/Einband/Preis kart. (Pr. nicht mitget.)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Anmerkungen Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 0800 Energiewirtschaft, Elektrotechnik, Elektronik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: D 86b/7434
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 1987 B 4185
Bereitstellung in Leipzig




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