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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Capacitive surface-micromachined pressure sensors on fused silica : contributions to micromachining on fused silica / Timo Schary
Person(en) Schary, Timo (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format 1 CD-ROM ; 12 cm
Hochschulschrift Bremen, Univ., Diss., 2009
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen Titel auf dem Label
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

Frankfurt Signatur: 2010 CRA 6192
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2009 CRA 3276
Bereitstellung in Leipzig




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