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Titel Stabile Vakuumprozesse mit Dreh‐/Schiebedurchführungen : Ausloten von Geschwindigkeits‐ und Richtungsabhängigkeiten am Beispiel MeTraVac
Person(en) Rößner, Matthäus (Verfasser)
Blanz, Jonathan (Verfasser)
Haidu, Francisc (Verfasser)
Bergner, Klaus (Verfasser)
Flämmich, Michael (Verfasser)
Bergner, Ute (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022072309392350112373
DOI: 10.1002/vipr.201900721
URL https://doi.org/10.1002/vipr.201900721
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 01.10.2019
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Enthalten in: Vakuum in Forschung und Praxis (Bd. 31, 2019, Nr. 5: 39-43. 5 S.)

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