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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1369600283
Art des Inhalts	Konferenzschrift, 2022, Aachen
Titel	Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 9. GMM-Workshops 21.-22.11.2022 in Aachen / Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum
Person(en)	Hoffmann, Martin (Herausgeber)
Organisation(en)	GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (9. : 2022 : Aachen) (Verfasser) VDE Verlag (Verlag) VDE/VDI GMM (Herausgebendes Organ)
Verlag	Leipzig ; Frankfurt am Main : Deutsche Nationalbibliothek
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2025 Original: 2022
Umfang/Format	1 Online-Ressource (1 CD-ROM)
Andere Ausgabe(n)	Digitale Übertragung von 9.: GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (9. : 2022 : Aachen): Mikro-Nano-Integration
Sprache(n)	Englisch (eng)
Schlagwörter	Mikrosystemtechnik ; Nanotechnologie
DDC-Notation	621 [DDC23ger]; 620.5 [DDC23ger]
Sachgruppe(n)	620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Frankfurt	Publikation im Haus und in Bearbeitung
Leipzig	Publikation im Haus und in Bearbeitung

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