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Titel Charakterisierung eines parallelkinematisch aktuierten In-situ -Referenzmesssystems für 5D-Nanomess- und Fabrikationsanwendungen
Person(en) Leineweber, Johannes (Verfasser)
Hebenstreit, Roman (Verfasser)
Häcker, Annika-Verena (Verfasser)
Meyer, Christoph (Verfasser)
Füßl, Roland (Verfasser)
Manske, Eberhard (Verfasser)
Theska, René (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2024012713052849580793
DOI: 10.1515/teme-2023-0109
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 03.01.2024
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Enthalten in: Technisches Messen (Bd. 91, 2024, Nr. 2: 102-115. 14 S.)

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