Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
Neuigkeiten Mittwoch, 19. November 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen.
 
 

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Titel Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung / D. Güttler
Person(en) Güttler, D. (Verfasser)
Verlag Dresden : Forschungszentrum Dresden - Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2010
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-61184
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Wissenschaftlich-technische Berichte ; FZD-411
Schlagwörter Kathode* ; Oberfläche* ; Messung* ; Sputtern* ; Magnetron* ; Atom* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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