Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1015526845 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | In-situ Atomic Layer Deposition growth of Hf-oxide / Konstantin Karavaev. Betreuer: Dieter Schmeißer |
| Person(en) |
Karavaev, Konstantin (Verfasser) Schmeißer, Dieter (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Cottbus : Universitätsbibliothek der BTU Cottbus |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Karavaev, Konstantin: In-situ atomic layer deposition growth of Hf-oxide |
| Hochschulschrift | Cottbus, Brandenburgische Technische Universität Cottbus, Diss., 2010 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:kobv:co1-opus-22617 |
| URL | http://opus.kobv.de/btu/volltexte/2011/2261/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Atomlagenabscheidung |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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