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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1264792956
Art des Inhalts Konferenzschrift, 2016, Duisburg
Titel Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 6. GMM-Workshops, 5.-6. Oktober 2016 in Duisburg / Tagungsleiter: Prof. Martin Hoffmann, Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano
Organisation(en) GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (6. : 2016 : Duisburg) (Verfasser)
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Herausgeber)
VDE Verlag (Verlag)
Verlag Leipzig ; Frankfurt am Main : Deutsche Nationalbibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2022
Original: 2016
Umfang/Format 1 Online-Ressource (1 CD-ROM)
Andere Ausgabe(n) Digitale Übertragung von 6.: GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (6. : 2016 : Duisburg): Mikro-Nano-Integration
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022091816031222558179
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Nanotechnologie
DDC-Notation 621 [DDC22ger]; 620.5 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Frankfurt Exemplar nur eingeschränkt nutzbar
Leipzig Exemplar nur eingeschränkt nutzbar




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