Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1171456549 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | In-vacuo-Untersuchungen zum initialen Aufwachsverhalten bei der Atomlagenabscheidung mittels Photoelektronenspektroskopie und Rastersondentechniken am Beispiel Ruthenium / Marion Geidel |
Person(en) | Geidel, Marion (Verfasser) |
Verlag | Dresden : TUDpress |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2018 |
Umfang/Format | vi, 159 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Dresden, 2017 |
ISBN/Einband/Preis |
978-3-95908-147-4 Broschur : EUR 19.80 (DE), EUR 20.40 (AT) 3-95908-147-2 |
EAN | 9783959081474 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Ruthenium ; Schichtwachstum ; Atomlagenabscheidung ; Photoelektronenspektroskopie ; Rastersondenmikroskopie ; Ausgangsmaterial ; Sauerstoffmolekül ; Dünnschichttechnik ; Nanometerbereich |
DDC-Notation | 621.38150284 [DDC23ger]; 671.735 [DDC23ger] |
Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 540 Chemie |
Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
Frankfurt |
Signatur: 2019 A 6457
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2019 A 28308
Bereitstellung in Leipzig |
