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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel In-vacuo-Untersuchungen zum initialen Aufwachsverhalten bei der Atomlagenabscheidung mittels Photoelektronenspektroskopie und Rastersondentechniken am Beispiel Ruthenium / Marion Geidel
Person(en) Geidel, Marion (Verfasser)
Verlag Dresden : TUDpress
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2018
Umfang/Format vi, 159 Seiten : Illustrationen ; 21 cm
Hochschulschrift Dissertation, Technische Universität Dresden, 2017
ISBN/Einband/Preis 978-3-95908-147-4 Broschur : EUR 19.80 (DE), EUR 20.40 (AT)
3-95908-147-2
EAN 9783959081474
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Ruthenium ; Schichtwachstum ; Atomlagenabscheidung ; Photoelektronenspektroskopie ; Rastersondenmikroskopie ; Ausgangsmaterial ; Sauerstoffmolekül ; Dünnschichttechnik ; Nanometerbereich
DDC-Notation 621.38150284 [DDC23ger]; 671.735 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 540 Chemie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2019 A 6457
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2019 A 28308
Bereitstellung in Leipzig




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