Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Der Multimedia-Zeitschriftenlesesaal und der Kartenlesesaal in Leipzig sind vom 30.10. bis 03.11. geschlossen. // The multimedia/periodical reading room and the map reading room in Leipzig are closed from 30.10 to 03.11.
 
Neuigkeiten Leipzig: Freitag, 31. Oktober 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. // Friday, 31 October 2025: The German National Library in Leipzig will be closed. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors / Nils Rasmus Behnel
Person(en) Behnel, Nils Rasmus (Verfasser)
Ausgabe 1. Aufl.
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2012
Umfang/Format Online-Ressource : 17 farb. Ill. (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Behnel, Nils Rasmus: Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors
Hochschulschrift Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2012
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-201503295043
ISBN/Einband/Preis 978-3-8440-0962-0
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 22
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Drucksensor ; Siliciumcarbid ; MEMS ; Herstellung ; CVD-Verfahren ; Trockenätzen ; Nassätzen ; Kontaktieren
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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