Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Online Ressourcen
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle / vorgelegt von Susanne Wiegand
Person(en) Wiegand, Susanne (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 7,6 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Wiegand, Susanne: Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle
Hochschulschrift Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:105-7061542
URL https://fridolin.tu-freiberg.de/archiv/pdf/PhysikWiegandSusanne706154.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
https://fridolin.tu-freiberg.de/archiv/html/PhysikWiegandSusanne706154.html (Verlag)
Sprache(n) Deutsch (ger)
DDC-Notation 519.23 [DDC22ger]; 660.2977 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 510 Mathematik ; 660 Technische Chemie

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