Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1007704284 |
| Titel | Rare-Earth Implanted MOS Devices for Silicon Photonics : Microstructural, Electrical and Optoelectronic Properties |
| Person(en) | Rebohle, Lars (Verfasser) |
| Verlag | Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rebohle, Lars: Rare-earth implanted MOS devices for silicon photonics |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:1111-20101019281 DOI: 10.1007/978-3-642-14447-9 |
| URL | https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-642-14447-9 (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-642-14447-9 |
| EAN | 9783642144479 |
| Beziehungen | Springer Series in Materials Science |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | MOS ; Seltenerdmetall ; Siliciumdioxid ; Ionenimplantation ; Elektrolumineszenz ; Photonik |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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