Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten

Leichte Bedienung, intuitive Suche: Die Betaversion unseres neuen Katalogs ist online! → Zur Betaversion des neuen DNB-Katalogs

 
Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

Ergebnis der Suche nach: swiRef=042609976

Zurück zur Trefferliste


Treffer 53 von 163 < < > <



Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/967392896
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel ECR-Plasmadiagnostik im System Ar-H2-N2-TMS und Charakterisierung der entstehenden SiCxNy:H-Schichten / vorgelegt von Ines Dani
Person(en) Dani, Ines (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
Umfang/Format 115 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Dani, Ines: ECR-Plasmadiagnostik im System Ar-H2-N2-TMS und Charakterisierung der entstehenden SiCxNy: H-Schichten
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002
Schlagwörter ECR-Beschichten ; Plasmadiagnostik ; Siliciumcarbid ; Siliciumnitrid ; Dünne Schicht
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 2003 A 1242
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 2003 A 1242
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




Treffer 53 von 163
< < > <




Aktionen

Aktionen


E-Mail-IconKorrekturanfrage

E-Mail-IconAdministration