Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten 24. Dezember 2025 bis 1. Januar 2026: Die Deutsche Nationalbibliothek bleibt an beiden Standorten geschlossen. // 24 December 2025 to 1 January 2026: The German National Library will be closed at both locations.
 
 

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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1141792389
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern / Andreas Michel, Robert Ruprecht, Michael Harmening, Walter Bacher
Person(en) Michel, Andreas (Verfasser)
Ruprecht, Robert (Verfasser)
Harmening, Michael (Verfasser)
Bacher, Walter (Verfasser)
Verlag Karlsruhe : KIT-Bibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1993
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe, 1992, Dissertation von Andreas Michel
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA152931
URL http://digbib.ubka.uni-karlsruhe.de/volltexte/15293 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen KfK-Berichte ; 5171
Schlagwörter Mikrostruktur* ; Abformung* ; Prägen* ; LIGA-Verfahren* ; Galvanoplastik* ; Röntgentiefenlithographie* ; Stoffeigenschaft* (*maschinell ermittelt)

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