Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Pulsformung zur schädigungsarmen Laserbearbeitung von Silizium / Michael Diez
Person(en) Diez, Michael (Verfasser)
Organisation(en) Herbert Utz Verlag (Verlag)
Ausgabe 1. Erstauflage
Verlag München : Herbert Utz Verlag
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2018
Umfang/Format Online-Ressource, 198 Seiten (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Diez, Michael: Pulsformung zur schädigungsarmen Laserbearbeitung von Silizium
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021021401561339249800
ISBN/Einband/Preis 978-3-8316-7387-2
EAN 9783831673872
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silicium ; Einkristall ; Laserbearbeitung ; Impulsformung ; Nanosekundenbereich ; Gitterbaufehler ; Schmelzen ; Erstarrung ; Diffusion ; Prozessführung <Technik>
DDC-Notation 621.38152 [DDC23ger]; 671.0284 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 660 Technische Chemie

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