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Art des Inhalts Konferenzschrift, 2022, Aachen
Titel Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 9. GMM-Workshops 21.-22.11.2022 in Aachen / Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum
Person(en) Hoffmann, Martin (Herausgeber)
Organisation(en) GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (9. : 2022 : Aachen) (Verfasser)
VDE Verlag (Verlag)
VDE/VDI GMM (Herausgebendes Organ)
Verlag Berlin ; Offenbach : VDE VERLAG GMBH
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2022]
Umfang/Format 1 CD-ROM ; 58 g + 1 Begleitmaterial (2 ungezählte Seiten)
Andere Ausgabe(n) Digitale Übertragung 9.: GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (9. : 2022 : Aachen): Mikro-Nano-Integration
ISBN/Einband/Preis 978-3-8007-5990-3 : EUR 82.00 (DE), EUR 82.00 (AT)
3-8007-5990-X
EAN 9783800759903
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 97
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Nanotechnologie
DDC-Notation 621 [DDC23ger]; 620.5 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Frankfurt Signatur: 2023 DT 658
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2023 DT 375
Bereitstellung in Leipzig




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