Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/991847997 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Multi-target sputtering technology of Pb(Zr,Ti)O3 thin films for electron devices / Vinay Shankar Vidyarthi |
| Person(en) | Vidyarthi, Vinay Shankar (Verfasser) |
| Verlag | Dresden : TUDpress |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | XVIII, 192 S. : Ill., graph. Darst. ; 23 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2008 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-941298-03-3 kart. : EUR 44.80 |
| EAN | 9783941298033 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Dresdner Beiträge zur Sensorik ; Bd. 34 |
| Schlagwörter | Wafer ; PZT ; Dünne Schicht ; Sputtern ; Prozessoptimierung |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
| Frankfurt |
Signatur: 2008 A 102284
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2009 A 42250
Bereitstellung in Leipzig |
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