Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1056976926 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Neue Membransensoren mit porösem Silizium / Kathrin Gutsche. [Universitas Saraviensis ...] |
| Person(en) | Gutsche, Kathrin (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | 132 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 198 g |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Gutsche, Kathrin: Neue Membransensoren mit porösem Silizium |
| Hochschulschrift | Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2013 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-3044-0 kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 57.25 (freier Pr.) |
| EAN | 9783844030440 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 26 |
| Schlagwörter | Siliciumsensor ; Drucksensor ; Kapazitiver Sensor ; Technische Membran ; Herstellung ; Silicium ; Poröser Stoff ; Epitaxieschicht |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
| Frankfurt |
Signatur: 2014 A 82764 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2014 A 91911 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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