Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1209368994 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Einsatz von Polyelektrolyt-Multischichten für das temporäre Waferbonden / von Helena Dillmann |
| Person(en) | Dillmann, Helena (Verfasser) |
| Organisation(en) |
Fraunhofer IRB-Verlag (Verlag) Fraunhofer IST, Braunschweig (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Stuttgart : Fraunhofer Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2020] |
| Umfang/Format | VII, 164 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina Braunschweig, 2019 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8396-1597-3 Broschur : EUR 63.00 (DE), EUR 64.80 (AT), CHF 97.10 (freier Preis) 3-8396-1597-6 |
| Bestellnummer(n) | Bestellnummer: fhg-ist_55 |
| EAN | 9783839615973 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik: Berichte aus Forschung und Entwicklung ; Nr. 045 |
| Schlagwörter | Wafer ; Silicium ; Dünne Schicht ; Bonden ; Polyelektrolyt ; Zwischenschicht ; Mehrschichtsystem ; Ultraviolett-Bestrahlung ; Fotokatalyse |
| DDC-Notation | 621.381046 [DDC23ger]; 621.381522 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 660 Technische Chemie |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltstext Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2020 A 47421
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2020 A 55208
Bereitstellung in Leipzig |
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