Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Development of molecular glasses for solvent-free photolithography utilizing combinatorial vapor deposition / vorgelegt von Frauke Pfeiffer
Person(en) Pfeiffer, Frauke (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format 116 S. : Ill., graph. Darst. ; 22 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Pfeiffer, Frauke: Development of molecular glasses for solvent-free photolithography utilizing combinatorial vapor deposition
Hochschulschrift Bayreuth, Univ., Diss., 2007 (Nicht für den Austausch)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Photoresist ; Photolithographie ; PVD-Verfahren ; Dünne Schicht ; Organisches Glas
DDC-Notation 621.381531 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2009 A 68159
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2008 A 47276
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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